أجزاء التيتانيوم لأشباه الموصلات

1. التحكم في إطلاق الشوائب المنخفض جدًا-

نحن نعتمد نظام معالجة للأدوات الخزفية + الأدوات-الحديدية المجانية طوال عملية الإنتاج. جميع المواد المساعدة المتلامسة مع قطعة العمل تخضع لثلاث دورات من تنقية الغسيل الحمضي، مع التحكم الصارم في المحتوى الإجمالي للحديد، الكروم، إلخ. لتكون في حدود 0.02%. يؤدي هذا إلى تجنب مشكلة التلوث الأيوني المعدني الشائعة في عمليات أشباه الموصلات تمامًا ويمنع تكوين بقايا معدنية زائدة على سطح الرقاقة. فهو يقلل من خطر قصر الدائرة من الجانب المادي.

 

2. مقاومة التآكل على المدى الطويل-.

بعد تشكيل الجزء، سوف يخضع لتركيزين مختلفين من غمر محلول مؤكسد ضعيف من أجل التخميل. سيتم إنشاء طبقة واقية موحدة من ثاني أكسيد التيتانيوم بسمك 8-10 نانومتر على السطح. حتى عند التعرض لحمض الهيدروفلوريك المخفف ومحاليل حمض النيتريك المختلطة في عملية تنظيف أشباه الموصلات لمدة 2000 ساعة متواصلة، لن يكون هناك انفصال تأليب ولا حطام يخدش سطح الرقاقة.

 

3. -ثبات الأبعاد عالي الدقة

أثناء المعالجة، العملية بأكملها تستخدم رذاذ النيتروجين السائل للتحكم في درجة الحرارة الثابتة، والتحكم في التشوه الناتج أثناء المعالجة في حدود 0.003 مم. قبل مغادرة المصنع، تخضع المنتجات النهائية لاختبارات دورة درجات الحرارة العالية والمنخفضة لمدة 24 ساعة. حتى عند التشغيل في بيئة معالجة أشباه الموصلات عند 180 درجة لفترة طويلة، لن يكون هناك تشوه أو تشوه ملتصق. ليست هناك حاجة لتفكيك وضبط دقة المحاذاة بشكل متكرر.

 

4. معدل عادم منخفض مناسب لبيئة الفراغ

يتم أولاً إخضاع جميع الأجزاء لخبز مفرغ بدرجة حرارة 120 درجة لمدة 48 ساعة من أجل معالجة تفريغ الغاز. تتم إزالة بخار الماء والجزيئات الصغيرة الممتصة على السطح بالكامل. بعد تركيبها في غرفة التفريغ شبه الموصلة، يمكن أن تساعد المعدات في الوصول إلى درجة التفريغ المستهدفة بنسبة 25% أسرع من استخدام الأجزاء العادية المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ، مما يقلل من ضياع الوقت في انتظار ضخ التفريغ.

1. صينية الويفر لآلة ترسيب البخار PVD

يستخدم لدعم رقاقة السيليكون المراد طلائها. في بيئة درجة الحرارة العالية-لرش المادة المستهدفة، لن يتفاعل جزء التيتانيوم مع غاز الرش ولن يطلق شوائب زائدة إلى الحجرة، الأمر الذي يمكن أن يحسن تجانس طبقة الغشاء المعدني المترسب على سطح الرقاقة بنسبة 5%، مما يتجنب مشكلة تسرب الرقاقة الناتجة عن عدم كفاية سماكة الطبقة المعدنية. إنها مناسبة لمتطلبات إنتاج الطلاء لعمليات 28 نانومتر وما دونها.

 

2. رف حامل الويفر لآلة التنظيف الرطب

في عملية التنظيف القياسية RCA، يتم غمر الحامل بالكامل في محاليل التنظيف الحمضية والقلويات القوية. لن تتآكل مادة التيتانيوم وتنتج حطامًا، ولن تلتصق بسطح الرقاقة لتسبب تلوثًا بالجسيمات. يمكنها تقليل معدل عيوب الجسيمات لتنظيف الرقاقة دفعة واحدة بنسبة 12%. في الوقت نفسه، يمكن لخاصية الوزن الخفيف للحامل أن تقلل أيضًا من حمل النقل لآلة التنظيف وتخفض استهلاك طاقة المعدات.

 

3. مقعد تثبيت القطب لآلة زرع الأيونات

يستخدم لإصلاح أقطاب الجهد العالي-في الجهاز. لن تتداخل الخاصية غير المغناطيسية للتيتانيوم مع مسار شعاع الأيونات، مما يسمح بالتحكم في انحراف عمق زرع الأيونات ضمن نطاق صغير جدًا، مما يؤدي إلى تجنب مشكلة جرعة الحقن غير المتساوية في المنطقة المحلية من الرقاقة. إنه يحسن بشكل كبير من اتساق الأداء الكهربائي للرقاقة.

 

4. شفة الموصل لخط أنابيب فراغ أشباه الموصلات

ربط أقسام مختلفة من خط أنابيب فراغ الجهاز. يمكن لمعدل عادم التيتانيوم المنخفض أن يحافظ على-بيئة فراغ نظيفة عالية داخل خط الأنابيب ولن يسبب تقلبات في درجة الفراغ بسبب إطلاق الغاز من الشفاه العادية المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ بعد الاستخدام طويل الأمد-. فهو يقلل من عدد إنذارات إيقاف تشغيل الماكينة الناتجة عن تشوهات الفراغ ويزيد من وقت التشغيل المستمر لخط الإنتاج بنسبة 30%.

1. تخصيص الأبعاد غير-القياسية

بالاعتماد على مركز التصنيع ذو 5 محاور الخاص بنا، يمكن تعديل طول وعرض وارتفاع الأجزاء وفقًا لمساحة تركيب معدات أشباه الموصلات الموجودة لدى العميل. ليست هناك حاجة للعميل لتعديل واجهة المعدات، ويمكن تسليم العينة الأولى في غضون 7 أيام.

 

2. تخصيص حالة السطح

يمكن اختيار طريقتين لمعالجة السطح حسب الطلب: تلميع المرآة والسفع الرملي غير اللامع. إنها مناسبة لمتطلبات النظافة المختلفة لعملية التصنيع ويمكنها تجنب التصاق الجسيمات التي تؤثر على بيئة إنتاج أشباه الموصلات.

 

3. تخصيص واجهات خاصة

يمكن تخصيص الهياكل الخاصة، مثل فتحات البطاقات الخاصة وفتحات تحديد الموضع، لتتوافق بشكل كامل مع متطلبات التجميع للمعدات التي طورها العميل بنفسه. لا يلزم إضافة أي مكونات محول إضافية.

غرض	مواصفة
اسم المنتج	أجزاء التيتانيوم لأشباه الموصلات
مادة	تيتانيوم نقي (درجة 2)، سبائك تيتانيوم (درجة 5 Ti-6Al-4V)
عملية التصنيع	التصنيع باستخدام الحاسب الآلي، والخراطة، والطحن، والطحن، واللحام
الأشكال المتوفرة	لوحة، حلقة، أنبوب، قضيب، كتلة، أجزاء مخصصة
أبعاد	مخصصة وفقا للرسومات أو العينات
تسامح	ما يصل إلى ± 0.01 ملم
الانتهاء من السطح	مصقول، ساندبلاستيد، مخلل، بأكسيد، تشكيله بدقة
خشونة السطح	Ra 0.2–1.6 ميكرومتر (متاح حسب الطلب)
نقاء	ما يصل إلى 99.6% (تيتانيوم درجة 2)
درجة حرارة التشغيل	تصل إلى 400 درجة
كثافة	4.51 جم/سم3
صلابة	الصف الثاني: HB 145-200؛ الصف الخامس: HRC 30-36
مقاومة التآكل	مقاومة ممتازة للأحماض والقلويات والمواد الكيميائية العملية
التوافق الكيميائي	مناسب للمواد الكيميائية شبه الموصلة والبيئات-عالية النقاء للغاية
تقتيش	فحص الأبعاد، شهادة المواد، فحص السطح

 

 

 

الوسم : أجزاء التيتانيوم لأشباه الموصلات، الصين أجزاء التيتانيوم لأشباه الموصلات المصنعين والموردين والمصنع, قطع تيتانيوم خماسية المحاور CNC, أجزاء مصنعة من التيتانيوم المؤكسد, أجزاء معالجة التيتانيوم الكيميائية, مكونات تيتانيوم عالية الدقة مصنعة باستخدام تقنية CNC, مكونات تيتانيوم مصنعة بدقة عالية, أجزاء مصنوعة من التيتانيوم